[发明专利]一种逆构电极的电流变均匀抛光方法与装置无效
申请号: | 201110116943.7 | 申请日: | 2011-05-08 |
公开(公告)号: | CN102229066A | 公开(公告)日: | 2011-11-02 |
发明(设计)人: | 贺新升;高春甫;李凝;罗罕频;王彬;朱喜林;卾世举 | 申请(专利权)人: | 浙江师范大学 |
主分类号: | B24B1/00 | 分类号: | B24B1/00 |
代理公司: | 吉林长春新纪元专利代理有限责任公司 22100 | 代理人: | 魏征骥 |
地址: | 321001 *** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明涉及一种逆构电极的电流变均匀抛光方法与装置,属于光整加工领域。包括获得平面面型信息,确定刀位位置及抛光间隙,在工件表面注入电流变液,由压力分布反求电场分布,由电场强度分布,调用数据库,模糊判别,获得与之近似之电极电压分布模型;由所得模型,控制各驱动电源输出,控制电致伸缩材料使各电极移动至预定位置,控制各高压电源输出,使各电极加载所需电压,抛光作业。本发明利用电流变液的流变特性,构造各点硬度不均匀的柔性抛光头,配合抛光速度,得到均匀的抛光去除率,以刀具的硬度改变适应面型的变化。 | ||
搜索关键词: | 一种 电极 流变 均匀 抛光 方法 装置 | ||
【主权项】:
1.一种逆构电极的电流变均匀抛光方法,其特征在于:包括下列步骤:(1)、获得平面面型信息;(2)、确定刀位位置及抛光间隙;(3)、在工件表面注入电流变液;(4)、由抛光区域的面型信息及抛光区域内各点线速度分布,计算获得均匀去除率时的抛光压力分布;已知平面抛光时抛光速度
,则在抛光区域沿半径方向的抛光速度分布是圆心处线速度最低,沿半径方向线速度逐渐增大,在边缘处线速度最大,抛光去除率服从Preston方程
,若使去除率
在抛光区域均匀,则抛光压力
在半径方向的分布应与抛光速度
成反比,才能保证抛光压力与抛光速度的乘积为常数;(5)、由压力分布反求电场分布由于抛光静压力
当电流变抛光液配方一定时,
为常数; 则抛光区域内电场强度的平方与抛光压力
成正比;(6)、由电场强度分布,调用数据库,模糊判别,获得与之近似之电极电压分布模型;(7)、由所得模型,控制各驱动电源输出,控制电致伸缩材料使各电极移动至预定位置,控制各高压电源输出,使各电极加载所需电压;(8)、抛光作业。
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