[发明专利]一种用于光伏生产的石英件的清洗方法无效
| 申请号： | 201110105028.8 | 申请日： | 2011-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN102249522A | 公开（公告）日： | 2011-11-23 |
| 发明（设计）人： | 左云翔 | 申请（专利权）人： | 苏州阿波罗光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C03B20/00 | 分类号： | C03B20/00 |
| 代理公司： | 张家港市高松专利事务所 32209 | 代理人： | 孙高 |
| 地址： | 215600 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于光伏生产的石英件的清洗方法，其包括如下步骤：A）首先将炉内的温度调节到1150℃~1200℃；B）同时向扩散炉的炉腔内输入流量为25-50L/min的氮气、流量为0.5~2.5L/min的三氯氧磷及流量为0.8~3.4L/min的氧气，输入时间为120~300分钟，上述氮气、三氯氧磷、氧气从扩散炉的进口输入，途经石英件再从扩散炉的出口输出，该种清洗方法不但有利于安全生产，而且还可降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 生产 石英 清洗 方法 | ||
【主权项】：
一种用于光伏生产的石英件的清洗方法，其包括如下步骤：A）首先将炉内的温度调节到1150℃~1200℃；B）同时向扩散炉的炉腔内输入流量为25‑50L/min的氮气、流量为0.5~2.5L/min的三氯氧磷及流量为0.8~3.4L/min的氧气，输入时间为120~300分钟，上述氮气、三氯氧磷、氧气从扩散炉的进口输入，途经石英件再从扩散炉的出口输出。
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