[发明专利]一种调焦调平装置及方法有效
| 申请号： | 201110086802.5 | 申请日： | 2011-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN102736428A | 公开（公告）日： | 2012-10-17 |
| 发明（设计）人： | 杜聚有;宋海军 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明在于公开一种调焦调平装置，包括光源、照射光路单元、探测光路单元以及信号处理单元，其特征在于，所述照射光路单元依次包括衍射光栅、第一透镜组、光阑和狭缝，所述探测光路单元依次包括探测狭缝、第一探测器、第二透镜组、参考光栅和第二探测器。本发明同时公开一种调焦调平方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 调焦 平装 方法 | ||
【主权项】：
一种调焦调平装置，包括光源、照射光路单元、探测光路单元以及信号处理单元，其特征在于，所述照射光路单元依次包括衍射光栅、第一透镜组、光阑和狭缝，所述探测光路单元依次包括探测狭缝、第一探测器、第二透镜组、参考光栅和第二探测器。
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