[发明专利]真空高温快速加热装置有效
| 申请号： | 201110083270.X | 申请日： | 2011-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN102154619A | 公开（公告）日： | 2011-08-17 |
| 发明（设计）人： | 刘晓萌 | 申请（专利权）人： | 张家港意发功率半导体有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/00 | 分类号： | C23C14/00;H05B3/02 |
| 代理公司： | 北京中恒高博知识产权代理有限公司 11249 | 代理人： | 夏晏平 |
| 地址： | 215600 江苏省苏州市张家港*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明为真空高温快速加热装置，涉及电子加工设备领域，为提高加热效率，采用“8”型红外辐射加热管，均采用陶瓷制作的接线端子与玻璃管发热段一起处于真空加热室内，当温度＞200℃，玻璃陶瓷连接处就会开裂。真空密封处易损坏，为此本发明将接线端子通过真空管安装极置于真空加热室外、玻璃管加热段仍处于加热室内，加热管与真空安装极之间硅胶密封的位置跟着也处于真空安装极外侧，本发明能在200℃以上温度正常工作，并具有结构简单，制作容易的有益效果。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 高温 快速 加热 装置 | ||
【主权项】：
真空高温快速加热装置，具有真空加热室，在真空加热室内装有“8”型红外辐射加热管，其特征为：“8”型红外辐射加热管接线端子通过真空管安装板置于真空加热室外，玻璃管加热段处于真空加热室内，“8”型红外辐射加热管与真空管安装板之间的硅胶密封的位置跟着也处于真空安装板外侧。
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