[发明专利]一种同步数据传输总线系统及方法

摘要

本发明提供一种同步数据传输总线系统及方法，应用于步进扫描投影光刻机工件台和掩模台同步控制，通过同步总线控制卡和运动控制卡之间采用握手通信，提高了总线传输的灵活性；将整个同步周期内的所有数据传输分成若干个地址包，每个地址包由一个包头地址、若干个数据传输地址和一个包尾地址三部分地址信息组成，实现了数据的分包发送；采用直接握手(ALWAYS)和软件握手(SOFT)，实现所有运动控制卡及时握手响应或地址包的延时发送。本发明的同步数据传输总线系统可以实现严格的同步数据传输、处理和控制算法的执行，同时提高总线传输方式的灵活性和适应性，实现工件台和掩模台的高速、高精度的同步运动控制。

主权项

一种同步数据传输总线系统，应用于步进扫描投影光刻机工件台和掩模台同步控制，包括：一块原始位置数据接收卡，接收来自测量系统的原始位置数据；若干块运动控制卡，接收并计算处理所述原始位置数据后打包发送给其他运动控制卡；一块同步总线控制卡，存放所述原始位置数据对应的定义好的地址包，并实现对原始位置数据接收卡和运动控制卡的同步控制，所述地址包由一个包头地址，若干个传输地址和一个包尾地址组成；一组同步数据传输总线，连接所述同步总线控制卡、原始位置数据接收卡及运动控制卡，所述同步数据传输总线包含地址线、数据线、地址选通线、数据选通线和握手信号线，所述的握手信号线由原始位置数据接收卡和运动控制卡通过“线与”方式驱动输出至同步总线控制卡，所述的地址线、地址选通线、数据选通线由同步总线控制卡驱动输出至原始位置数据接收卡和运动控制卡；一块通讯总线控制卡，进行对同步总线控制卡、原始位置数据接收卡及运动控制卡的初始化配置及控制，初始化配置时将所述原始位置数据的存放地址定义成所述地址包；一组通讯总线，实现所述通讯总线控制卡与同步总线控制卡、原始位置数据接收卡及运动控制卡间的通讯。