[发明专利]热式光检测器、热式光检测装置及电子设备有效
| 申请号： | 201110074618.9 | 申请日： | 2011-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN102221411A | 公开（公告）日： | 2011-10-19 |
| 发明（设计）人： | 野田贵史;泷泽顺 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01J5/10 | 分类号： | G01J5/10;G01J5/02;H01L37/00 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 余刚;吴孟秋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供了一种热式光检测器、热式光检测装置及电子设备。热式光检测器具有：热式检测元件；支撑部件，热式检测元件安装并支撑在支撑部件的与面向空腔部的第一面相对的第二面上；以及固定部，支撑该支撑部件。支撑部件具有：第一层部件，配置在第二面侧，并具有朝向第一方向的残留应力；以及第二层部件，在第一面侧层叠到第一层部件上，并具有朝向与第一方向相反的第二方向的残留应力。第一层部件的热导小于第二层部件的热导。 | ||
| 搜索关键词： | 热式光 检测器 检测 装置 电子设备 | ||
【主权项】：
一种热式光检测器，其特征在于，具有：热式检测元件；支撑部件，包括第一面和与所述第一面相对的第二面，所述第一面面向空腔部，所述热式检测元件安装并支撑在所述第二面上；以及固定部，支撑所述支撑部件，其中，所述支撑部件具有：第一层部件，配置在所述第二面侧，并具有朝向第一方向的残留应力；以及第二层部件，在所述第一面侧层叠到所述第一层部件上，并具有朝向与所述第一方向相反的第二方向的残留应力，所述第一层部件的热导小于所述第二层部件的热导。
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