[发明专利]一种模具用抗高温氧化纳米ZrOxN1-x薄膜及其制备工艺有效
| 申请号： | 201110054867.1 | 申请日： | 2011-03-08 |
| 公开（公告）号： | CN102162084A | 公开（公告）日： | 2011-08-24 |
| 发明（设计）人： | 宋忠孝;徐可为;田增瑞 | 申请（专利权）人： | 西安宇杰表面工程有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/35;C23C14/00 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 陆万寿 |
| 地址： | 710075 陕西省西安*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种模具用抗高温氧化纳米ZrOxN1-x薄膜及其制备工艺，所述模具用抗高温氧化纳米ZrOxN1-x薄膜是由纳米晶ZrN和ZrO2组成的纳米薄膜。所述模具用抗高温氧化纳米ZrOxN1-x薄膜的氧化温度为1000℃以上。其制备工艺是采用脉冲电源溅射Zr靶，在N2/O2/Ar混合气体中用反应磁控溅射沉积在高速钢基体上。本发明的制备工艺沉积的薄膜，具有ZrN和ZrO2组成的纳米双相复合结构，提高了薄膜抗氧化温度，薄膜的氧化温度在1000℃以上。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 模具 高温 氧化 纳米 zro sub 薄膜 及其 制备 工艺 | ||
【主权项】：
一种模具用抗高温氧化纳米ZrOxN1‑x薄膜，其特征在于：所述模具用抗高温氧化纳米ZrOxN1‑x薄膜是由纳米晶ZrN和ZrO2组成的纳米薄膜所述纳米ZrOxN1‑x薄膜厚度为1.8‑2μm；所述纳米ZrOxN1‑x薄膜硬度为27‑32GPa。
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