[发明专利]面向IC装备控制软件的GUI平台化实现方法有效
| 申请号： | 201110052825.4 | 申请日： | 2011-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN102455910A | 公开（公告）日： | 2012-05-16 |
| 发明（设计）人： | 于海斌;徐皑冬;刘明哲;李正;王锴;金妮;张吉龙 | 申请（专利权）人： | 中国科学院沈阳自动化研究所 |
| 主分类号： | G06F9/44 | 分类号： | G06F9/44 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 李晓光 |
| 地址： | 110016 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种面向IC装备控制软件的GUI平台化实现方法，包括以下步骤：根据不同厂商的IC设备特点开发相应的IC设备驱动模块和绘制GUI平台界面；利用上述IC设备驱动模块将IC装备的监控主机与控制器进行连接，形成通讯网络；IC设备驱动模块通过上述通讯网络读写控制器中的数据，并将数据映射到GUI平台的通用数据层；GUI平台界面利用通用数据层进行数据的实时显示、控制和异常处理，实现IC装备控制软件的GUI平台化。本发明实现了跨平台机制，提高了晶圆制造设备的集群监控能力，可满足用户对相应控制系统的人机界面的灵活组态和配置，使整个生产过程能在短时间内快速组态，保证生产提前启动的需要。 | ||
| 搜索关键词： | 面向 ic 装备 控制 软件 gui 平台 实现 方法 | ||
【主权项】：
一种面向IC装备控制软件的GUI平台化实现方法，其特征在于包括以下步骤：根据不同厂商的IC设备特点开发相应的IC设备驱动模块和绘制GUI平台界面；利用上述IC设备驱动模块将IC装备的监控主机与控制器进行连接，形成通讯网络；IC设备驱动模块通过上述通讯网络读写控制器中的数据，并将数据映射到GUI平台的通用数据层；GUI平台界面利用通用数据层进行数据的实时显示、控制和异常处理，实现IC装备控制软件的GUI平台化。
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