[发明专利]双激光束分离光学晶体方法及装置有效
申请号: | 201110044449.4 | 申请日: | 2011-02-24 |
公开(公告)号: | CN102152003A | 公开(公告)日: | 2011-08-17 |
发明(设计)人: | 段军;胡乾午;李祥友;王泽敏;曾晓雁;刘建国;高明 | 申请(专利权)人: | 华中科技大学 |
主分类号: | B23K26/40 | 分类号: | B23K26/40 |
代理公司: | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人: | 曹葆青 |
地址: | 430074 湖北*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明公开了一种双激光束分离光学晶体方法及装置。该方法利用高峰值功率、低脉冲能量的第一激光束在光学晶体内形成光损伤线形成的一个损伤截面,利用低峰值功率、高脉冲能量的第二激光束作用于所述损伤线所形成的损伤截面上,使光学晶体分离。装置包括二维工作台和两套激光加工系统,激光加工系统均包括Z轴移动机构以及依次位于同一光路上的激光器、扩束准直镜、第一反射镜和聚焦镜;聚焦镜固定在Z轴移动机构上。本发明利用激光与材料相互作用无机械作用力和对激光具有透明性的特点,对光学晶体进行分离,实现在分离光学晶体过程中无碎裂、分离精度高、可任意方向分离和无污染的目的。本发明特别适用于KDP光学晶体的分离。 | ||
搜索关键词: | 激光束 分离 光学 晶体 方法 装置 | ||
【主权项】:
一种双激光束分离光学晶体方法,其特征在于,该方法利用高峰值功率、低脉冲能量的第一激光束在光学晶体内形成光损伤线形成的一个损伤截面,利用低峰值功率、高脉冲能量的第二激光束作用于所述损伤线所形成的损伤截面上,使光学晶体分离。
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