[发明专利]磁悬浮平面进给运动装置无效
| 申请号： | 201110040403.5 | 申请日： | 2011-02-18 |
| 公开（公告）号： | CN102176649A | 公开（公告）日： | 2011-09-07 |
| 发明（设计）人： | 廖平 | 申请（专利权）人： | 中南大学 |
| 主分类号： | H02N15/00 | 分类号： | H02N15/00 |
| 代理公司： | 长沙市融智专利事务所 43114 | 代理人： | 邓建辉 |
| 地址： | 410083 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种磁悬浮平面进给运动装置，采用平面电机进行驱动，定子平台上装有用硅钢片均匀组成的方形凸头阵列定子，在Y向动平台上安置了2套相互正交的三相励磁绕组动子，动子平台的支撑分别由2个方向上的磁悬浮滑套来实现，磁悬浮滑套安装在X、Y方向圆柱导轨上，通过对磁悬浮滑套中的线圈电流控制使动子平台悬浮起来，提高了平面运动的平稳性和效率，通过调节对三相励磁绕组动子施加激励电压，产生电磁驱动力控制动子平台的平面运动方向。在2个运动方向采用光栅传感器进行运动位置检测，实现精确的平面进给运动。可应用于光电子、微电子等产品制造的专用设备上，具有广泛的市场前景。 | ||
| 搜索关键词： | 磁悬浮 平面 进给 运动 装置 | ||
【主权项】：
一种磁悬浮平面进给运动装置，包括定子平台(1)、X向动平台(15)、X方向圆柱导轨(9)、Y向动平台(2)、Y方向圆柱导轨(12)和工作平台(3)，其特征在于：所述的定子平台(1)上装有方形凸头阵列定子(7)，所述的X向动平台(15)通过X向磁悬浮滑套(14)滑动套装在所述的X方向圆柱导轨(9)上，所述的Y向动平台(2)通过Y向磁悬浮滑套(4)滑动套装在所述的Y方向圆柱导轨(12)上，在所述的工作平台(3)上安置了2套相互正交的三相励磁绕组动子(16)。
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