[发明专利]抛光头有效
| 申请号： | 201110039127.0 | 申请日： | 2011-02-16 |
| 公开（公告）号： | CN102172886A | 公开（公告）日： | 2011-09-07 |
| 发明（设计）人： | 路新春;王同庆;何永勇;雒建斌 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | B24B39/06 | 分类号： | B24B39/06 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 宋合成 |
| 地址： | 100084 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种抛光头，所述抛光头包括盖板；基座，所述基座固定在所述盖板的下表面上，所述基座的下表面形成有环形凹槽；柔性膜，所述柔性膜固定在所述基座的下表面上且覆盖在所述环形凹槽上以形成与外界连通的下腔室；传递板，所述传递板固定在所述柔性膜的下表面上且与所述环形凹槽相对应，其中所述传递板的上表面的面积小于所述传递板的下表面的面积；和保持环，所述保持环固定在所述基座的下表面上用于保持晶圆。根据本发明实施例的抛光头可以提供更低的抛光压力。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 | ||
【主权项】：
一种抛光头，其特征在于，包括：盖板；基座，所述基座固定在所述盖板的下表面上，所述基座的下表面形成有环形凹槽；柔性膜，所述柔性膜固定在所述基座的下表面上且覆盖在所述环形凹槽上以形成与外界连通的下腔室；传递板，所述传递板固定在所述柔性膜的下表面上且与所述环形凹槽相对应，其中所述传递板的上表面的面积小于所述传递板的下表面的面积；和保持环，所述保持环固定在所述基座的下表面上用于保持晶圆。
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