[发明专利]压电振动器及使用该压电振动器的振荡器

摘要

将在基底基板(2)的安装部(9)与第一贯通电极(10a)之间形成的第一迂回电极(5a)，形成在不与在压电振动片(4)的外表面形成的驱动用的第一及第二激振电极(6a、6b)重叠的周围的区域，从而减小第一迂回电极(5a)的电阻。从而，将压电振动片(4)以悬臂状态安装到基底基板(2)的表面设置的安装部(9)上，并且在用盖基板(3)以覆盖地收纳压电振动片(4)的压电振动器(1)中，减小对压电振动片(4)提供驱动电力的迂回电极(5)的电阻，防止振动性能降低。

主权项

一种压电振动器，其中包括：基底基板；形成在所述基底基板的表面的在安装部中以悬臂状态被保持的压电振动片；以及设置在所述基底基板并且以覆盖地收纳所述压电振动片的盖基板，其中，所述压电振动片在其外表面具有驱动用的第一及第二激振电极，所述基底基板包括从其表面贯通到相反侧的背面的第一及第二贯通电极、以及形成在所述表面并且一端与所述第一贯通电极连接而另一端与所述安装部连接的第一迂回电极，在将所述基底基板从其表面的法线方向观看时，所述第一迂回电极形成在不与所述第一及第二激振电极重叠的周围的区域，所述第一激振电极经由所述安装部和所述第一迂回电极而与所述第一贯通电极电连接，所述第二激振电极经由所述安装部而与所述第二贯通电极电连接。