[发明专利]用于形成光伏器件的背反射层的工艺无效
| 申请号： | 201110025270.4 | 申请日： | 2011-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN102134701A | 公开（公告）日： | 2011-07-27 |
| 发明（设计）人： | 莎费悠·A·乔杜里;理查德·J·波德列斯内;曹新民;拉玛沙米·拉朱 | 申请（专利权）人： | 美国迅力光能公司 |
| 主分类号： | C23C14/14 | 分类号： | C23C14/14;C23C14/34;C23C14/56;H01L31/18;H01L31/0216 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 孙仿卫 |
| 地址： | 美国俄亥俄州托莱*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于形成光伏器件的有织构的背反射层的工艺。该工艺包括以下步骤：提供一移动基板；将该基板定位在一沉积腔室内；及溅射定位在该沉积腔室内的一金属或一金属合金靶以生产溅射材料。该工艺进一步包括将混合有氩气的一反应气体引入到该沉积腔室中的步骤。该反应气体和溅射的金属或金属合金材料形成一合金层。该合金层形成在该基板上，并在该基板上形成一有织构的表面。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 形成 器件 反射层 工艺 | ||
【主权项】：
一种用于形成一光伏器件的一有织构的背反射层的工艺，包括以下步骤：提供一移动基板；将该基板定位在一沉积腔室内；溅射定位在该沉积腔室内的一金属或一金属合金靶以生产溅射材料；及将混合有氩气的一反应气体引入到该沉积腔室，其中该反应气体和该溅射金属或金属合金材料形成一合金层，该合金层形成在该基板上，并在该基板上形成一有织构的表面。
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