[发明专利]多线切割回收切割液脱色方法

摘要

本发明公开了一种多线切割回收切割液脱色方法，包括以下步骤：一、降低黏度：将有色切割液加热至40℃～75℃；二、絮凝与脱色：加入双氧水且充分搅拌后，再加入白土且充分搅拌后静置，获得带有絮凝物的固液混合物；三、多级过滤；四、离子交换处理：采用离子交换柱或离子交换床去除无机杂质离子，获得25℃温度条件下电导率＜5μS/cm的除杂滤液；五、负压真空蒸馏。本发明设计合理、方法步骤简单、操作简便且实用价值高、脱色效果好、回收成本低，处理后切割液的色度小于15度且各项指标均符合技术指标要求，能有效解决现有切割液回收方法存在的回收成本高、处理后切割液的质量不稳定、处理过程不易掌握等多种实际问题。

主权项

一种多线切割回收切割液脱色方法，其特征在于该方法包括以下步骤：步骤一、降低黏度：采用加热设备将回收的有色切割液加热至40℃～75℃，所述有色切割液为回收的硅片多线切割过程中所产生的切割液；步骤二、絮凝与脱色：在步骤一中经加热后的有色切割液中加入质量浓度为25％～35％的双氧水且充分搅拌10min～30min后，再加入白土且充分搅拌后静置30min～100min，获得带有絮凝物的固液混合物；所加入双氧水占所述有色切割液的质量百分比为0.5％～2％，且所加入白土占所述有色切割液的质量百分比为0.5％～2％；步骤三、多级过滤：先采用固液分离装置对所述带有絮凝物的固液混合物进行固液分离获得无色液体，再采用孔径为5μm±2μm的过滤器一、孔径为0.1μm～0.2μm的过滤器二和能将分子量为M0以上的杂质滤除的超滤过滤器先后对所述无色液体进行三级过滤，其中M0＝50000道尔顿±10000道尔顿；步骤四、离子交换处理：采用离子交换柱或离子交换床去除步骤三中经多级过滤后的滤液中所含有的杂质离子，且离子交换处理过程中同步对所述滤液的电导率进行检测，直至将所述滤液在25℃温度条件下的电导率处理至＜5μS/cm时为止，获得除杂滤液；步骤五、负压真空蒸馏：采用真空蒸馏设备对步骤四中所述的除杂滤液进行真空蒸馏，直至将所述除杂滤液中的水分含量降至0.5％以下，则获得含有聚乙二醇的无色透明液体，完成步骤一中所述有色切割液的脱色处理过程。