[发明专利]硅晶切割液回收方法无效
| 申请号： | 201110007791.7 | 申请日： | 2011-01-02 |
| 公开（公告）号： | CN102527093A | 公开（公告）日： | 2012-07-04 |
| 发明（设计）人： | 蔡子萱;施玉霈;郑大伟;徐文庆 | 申请（专利权）人： | 昆山中辰矽晶有限公司 |
| 主分类号： | B01D17/025 | 分类号： | B01D17/025;B01D17/09 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215316 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种硅晶切割液回收方法，包含一稀释步骤，将一切割硅晶后的切割废液加入重量百分比不小于该切割废液10wt％的水稀释形成一混合废液；一固液分离步骤，将该混合废液进行固液分离，得到一固含量小于10g/L的含水切割液；一加热分相步骤，将该含水切割液加热至温度不小于45℃的条件下，令该含水切割液中的切割液和水形成不互溶的切割液相和水相，之后将切割液取出，即可完成该硅晶切割液回收。本发明无需使用耗能的加压或减压抽气装置，即可有效回收硅晶切割液。 | ||
| 搜索关键词： | 切割 回收 方法 | ||
【主权项】：
一种硅晶切割液回收方法，包含：一稀释步骤，将一切割硅晶后含有固体微粒和切割液的切割废液加入重量百分比不小于该切割废液的10wt％的水，稀释形成一混合废液；一固液分离步骤，将该混合废液进行固液分离，得到一固含量小于10g/L的含水切割液；一加热分相步骤，将该含水切割液加热至温度不小于45℃的条件下，令该含水切割液中的切割液和水籍由温度变化造成溶解度变化，而使该切割液与水形成不互溶的切割液相与水相，之后将该切割液取出，得到一回收切割液，即完成该硅晶切割液回收方法。
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