[发明专利]用于激光系统的聚焦物镜的能移动的重量补偿悬架的装置有效
申请号: | 201080065117.8 | 申请日: | 2010-03-03 |
公开(公告)号: | CN102834755A | 公开(公告)日: | 2012-12-19 |
发明(设计)人: | 格哈德·罗布 | 申请(专利权)人: | 威孚莱有限公司 |
主分类号: | G02B7/00 | 分类号: | G02B7/00;A61B18/20;A61F9/008 |
代理公司: | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人: | 李文颖;罗正云 |
地址: | 德国埃*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 一种用于激光系统(10)的聚焦物镜(12)的能移动的重量补偿悬架的装置,包括:力产生装置,该力产生装置用于产生抵消所述聚焦物镜(12)的重力的反作用力分量(G);传动装置,该传动装置将所述反作用力分量(G)传递到所述聚焦物镜(12)上并允许所述聚焦物镜的向上/向下补偿运动;引导装置,该引导装置用于能移动地引导所述聚焦物镜,以使在所述聚焦物镜(12)的向上/向下补偿运动期间所述聚焦物镜的光学轴线(O)至少保持其在空间的方位并优选地保持所述聚焦物镜的光学轴线(O)在空间的位置。 | ||
搜索关键词: | 用于 激光 系统 聚焦 物镜 移动 重量 补偿 悬架 装置 | ||
【主权项】:
1.一种用于激光系统(10)的聚焦物镜(12)的能移动的重量补偿悬架的装置,包括:-力产生装置,该力产生装置用于产生抵消所述聚焦物镜(12)的重量的反作用力分量
-传动装置,该传动装置将所述反作用力分量
传递到所述聚焦物镜(12)上并允许所述聚焦物镜的向上/向下补偿运动;和-引导装置,该引导装置用于能移动地引导所述聚焦物镜,以使在所述聚焦物镜(12)的向上/向下补偿运动的情况下,所述聚焦物镜的光学轴线(O)至少保持其在空间的方位并优选地保持其在空间的位置。
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