[发明专利]板状物的研磨方法及研磨装置无效
| 申请号： | 201080057688.7 | 申请日： | 2010-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN102666010A | 公开（公告）日： | 2012-09-12 |
| 发明（设计）人： | 石丸直彦;城山厚;河内辰朗 | 申请（专利权）人： | 旭硝子株式会社 |
| 主分类号： | B24B7/06 | 分类号： | B24B7/06;B24B7/24;B24B27/033;B24B29/00 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 高培培;车文 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 不影响玻璃板（G）的被研磨面上的表面缺陷（17）的产生状况地改善研磨工序的运转效率。提供一种研磨方法，关于在工作台（2）上由吸附片（3）吸附的玻璃板（G）的表面缺陷（17），预先检查其面内的Y轴方向的分布状态，与表面缺陷（17）少的区域即研磨道（LA）相比，在表面缺陷（17）更多存在的区域即研磨道（LB）上配置更多个对玻璃板（G）的表面进行研磨的研磨头（5），使玻璃板（G）沿着X轴方向移动，而对其表面进行研磨的研磨方法。 | ||
| 搜索关键词： | 板状物 研磨 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种板状物的研磨方法，利用3个以上的研磨头对沿着规定的搬运方向搬运的板状物的被研磨表面进行研磨，其特征在于，以所述被研磨表面沿着与所述搬运方向正交的方向被划分的方式设定多个研磨道，加权配置与所述多个研磨道分别对应的研磨头的个数，基于与所述多个研磨道分别对应的被研磨表面的状态来设定研磨量。
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