[发明专利]光学元件的保持布置有效
| 申请号： | 201080044073.0 | 申请日： | 2010-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN102549468A | 公开（公告）日： | 2012-07-04 |
| 发明（设计）人： | 乌尔里克.韦伯;赫伯特.霍尔德尔 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司激光器材有限责任公司;卡尔蔡司SMT有限责任公司 |
| 主分类号： | G02B7/00 | 分类号： | G02B7/00;G02B7/02;G03F7/20;H01L21/20 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 邱军 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及光学元件的保持布置，该保持布置具有围绕要被接收的光学元件的基础结构(3)和安装装置(4)，光学元件(10)借助安装装置(4)能够以绕光轴(z)的旋转运动以及沿第一轴(x)的平移运动的两个自由度被支撑在基础结构(3)上，，所述第一轴垂直于光轴延伸并且与光轴(z)的中心(O)相交，所述安装装置(4)包括四个连结位置(4a、4b、4c、4d)和至少一个平行摇杆(51，52)，所述连结位置布置为相对于中心(O)点对称，至少一个平行摇杆(51、52)可平行于第一轴位移。本发明还涉及具有保持布置的操纵器单元。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 元件 保持 布置 | ||
【主权项】：
光学元件的保持布置，该保持布置具有围绕要被接收的光学元件的基础结构(3)、和安装装置(4)，所述光学元件(10)借助所述安装装置(4)能够以绕光轴(z)的旋转运动以及沿第一轴(x)的平移运动的两个自由度被支撑在所述基础结构(3)上，所述第一轴垂直于光轴延伸并且与光轴(z)的中心(O)相交，其特征在于，所述安装装置(4)包括四个连结位置(4a、4b、4c、4d)和至少一个平行摇杆(51、52)，所述连结位置布置为相对于所述中心(O)点对称，所述至少一个平行摇杆(51、52)是可平行于所述第一轴(x)位移的。
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