[发明专利]在OLED基底上形成图案化涂层的装置和方法无效
| 申请号： | 201080040420.2 | 申请日： | 2010-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN102625860A | 公开（公告）日： | 2012-08-01 |
| 发明（设计）人： | M·颜;L·G·特纳;A·G·埃尔拉特;W·F·莫纳罕;D·J·史密斯 | 申请（专利权）人： | 通用电气公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/56;C23C16/04;C23C16/54 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 李进;林森 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种用于在基于连续卷对卷蒸发的沉积过程中在OLED基底上施加图案化涂层的装置，其包括蒸发沉积源、处理滚筒、驱动辊和荫罩，其中荫罩包括掩蔽线特征，掩蔽线特征选择性地防止涂层沉积在基底上。还提出了一种用于施加涂层的方法。 | ||
| 搜索关键词： | oled 基底 形成 图案 涂层 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种用于在基于卷对卷蒸发的沉积过程中在OLED基底上施加图案化涂层的装置，其包括：处理滚筒，能够放置用于通过蒸发沉积源涂布的OLED基底；驱动辊，能够从送料辊传输OLED基底至卷取辊和控制处理滚筒上OLED基底的张力；和荫罩，其中荫罩的弧度与处理滚筒的弧度匹配，且其中所述荫罩紧密接近处理滚筒地放置以产生间隙，OLED基底适于穿过其该间隙从送料辊移动至卷取辊而与所述荫罩没有物理接触，并且其中所述荫罩包括；一个或多个与OLED基底移动方向平行的掩蔽线特征，其中所述掩蔽线特征选择性地防止涂层沉积在OLED基底的一个或多个区域上；和一个或多个与OLED基底移动方向垂直的束特征，其中所述束特征提供线特征的机械支撑。
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