[发明专利]用于印刷多层图案的多重控制方法及相关设备有效
| 申请号： | 201080039564.6 | 申请日： | 2010-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN102481797A | 公开（公告）日： | 2012-05-30 |
| 发明（设计）人： | 马科·加里亚左;安德里亚·巴奇尼;乔治欧·塞勒里;卢奇·德萨缇;詹佛朗哥·帕斯奎林;托马索·沃尔克斯 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | B41M3/14 | 分类号： | B41M3/14;H05K3/12 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人： | 柳春雷 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 在支撑件上多层印刷的方法包括：多个印刷步骤，其包括在相应印刷台中进行的第一印刷步骤和进一步后续印刷步骤；以及多个排列步骤，每个排列步骤设置在第一印刷步骤之后、且相应的进一步后续印刷步骤的上游，其中排列装置实现支撑件的准确配置和/或印刷台的调整以执行后续印刷步骤。方法在每个印刷步骤下游和每个排列步骤上游包括控制步骤，在控制步骤中，检测装置检测印刷在支撑件上的层的位置和/或支撑件在工作面上的位置，并且其中，至少命令与控制单元将检测的位置中的至少一者与预定位置和/或与先前控制步骤中检测的位置相比较，并且其中，比较的结果用于排列步骤。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 印刷 多层 图案 多重 控制 方法 相关 设备 | ||
【主权项】：
一种在支撑件上多层印刷的方法，所述支撑件例如是硅制晶片、衬底或薄片，所述方法包括如下步骤：多个印刷步骤(11，21，31)，其包括在相应印刷台(50，60，70)中进行的第一(11)印刷步骤和进一步后续印刷步骤(21，31)，以及多个排列步骤(13，23)，所述多个印刷步骤中每一者设置在所述第一(11)印刷步骤之后、且相应的所述进一步后续印刷步骤(21，31)的上游，其中，排列装置(54，64)实现所述支撑件的正确定位和/或所述印刷台(50，60，70)的调整以执行所述后续印刷步骤，其中，所述方法在每个印刷步骤(11，21，31)下游和每个排列步骤(13，23)上游包括控制步骤(12，22，32)，在所述控制步骤中，检测装置(52，62，72)检测印刷在所述支撑件上的层的位置和/或所述支撑件在工作面上的位置，并且至少一个命令与控制单元(53，63，73，120)将检测的位置中的至少一者与预定位置和/或与在先前控制步骤中检测的位置相比较，并且其中，比较的结果用于所述排列步骤(13，23)中，所述方法的特征在于：在每个控制步骤(12，22，32)中检测的位置由所述命令与控制单元(53，63，73，120)用于后续工作周期的所述控制步骤之前的排列步骤中。
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