[发明专利]芳香族锍盐化合物

摘要

本发明提供显影性高的光致产酸剂及固化性高的阳离子聚合引发剂，还提供使用了它们的抗蚀剂组合物及阳离子聚合性组合物。具体而言，提供下述通式(I)所示的新型的芳香族锍盐化合物、使用了该化合物的光致产酸剂、阳离子聚合引发剂、抗蚀剂组合物及阳离子聚合性组合物。式(I)中，R¹～R¹⁰表示无取代的或具有取代基的碳原子数为1～18的烷基等，R¹¹～R¹⁷表示无取代的或具有取代基的碳原子数为1～18的烷基等，R¹⁸表示无取代的或具有取代基的碳原子数为1～18的烷基等，X₁^-表示1价的阴离子。

主权项

1.一种下述通式(I)所示的芳香族锍盐化合物，[化1]式(I)中，R¹、R²、R³、R⁴、R⁵、R⁶、R⁷、R⁸、R⁹及R¹⁰分别独立地表示氢原子、卤素原子、羟基、硝基、无取代的或具有取代基的碳原子数为1～18的烷基、无取代的或具有取代基的碳原子数为6～20的芳基、或者无取代的或具有取代基的碳原子数为7～20的芳基烷基，R¹¹、R¹²、R¹³、R¹⁴、R¹⁵、R¹⁶及R¹⁷分别独立地表示氢原子、卤素原子、羟基、硝基、或者无取代的或具有取代基的碳原子数为1～18的烷基，R¹⁸表示氢原子、无取代的或具有取代基的碳原子数为1～18的烷基、无取代的或具有取代基的碳原子数为6～20的芳基、或者无取代的或具有取代基的碳原子数为7～20的芳基烷基，R¹～R¹⁸所示的碳原子数为1～18的烷基、R¹～R¹⁰及R¹⁸所示的碳原子数为6～20的芳基、以及R¹～R¹⁰及R¹⁸所示的碳原子数为7～20的芳基烷基所具有的取代基的数目没有限制，R¹～R¹⁸所示的碳原子数为1～18的烷基、R¹～R¹⁰及R¹⁸所示的碳原子数为6～20的芳基、以及R¹～R¹⁰及R¹⁸所示的碳原子数为7～20的芳基烷基中的亚甲基链可以被-O-、-S-、-CO-、-CO-O-或-O-CO-中断，X₁^-表示1价的阴离子。