[发明专利]光学成像系统无效
申请号: | 201080019040.0 | 申请日: | 2010-04-22 |
公开(公告)号: | CN102414025A | 公开(公告)日: | 2012-04-11 |
发明(设计)人: | 伊贾尔·卡茨尔;艾利·梅穆恩 | 申请(专利权)人: | 奥博泰克有限公司 |
主分类号: | B41J2/47 | 分类号: | B41J2/47 |
代理公司: | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人: | 余朦;王艳春 |
地址: | 以色列*** | 国省代码: | 以色列;IL |
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摘要: | 本发明揭示一种将图案扫描至表面上的方法,该方法包括:形成包含用于写入表面上的图案的第一空间调制光束;将该第一空间调制光束分裂为多个子光束;改变该多个子光束之间的空间关系,由此形成第二空间调制光束;及用该第二空间调制光束扫描该表面。 | ||
搜索关键词: | 光学 成像 系统 | ||
【主权项】:
一种将图案扫描至表面上的方法,所述方法包括:形成包含用于写入表面上的图案的第一空间调制光束;将所述第一空间调制光束分裂为多个子光束;改变所述多个子光束之间的空间关系,由此形成第二空间调制光束;以及用所述第二空间调制光束扫描所述表面。
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