[发明专利]扫掠期间剂量可变的转子光学部件成像方法及系统有效
| 申请号： | 201080017834.3 | 申请日： | 2010-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN102414621A | 公开（公告）日： | 2012-04-11 |
| 发明（设计）人： | T.桑德斯特罗姆;P.阿斯克布杰 | 申请（专利权）人： | 麦克罗尼克迈达塔有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 史新宏 |
| 地址： | 瑞典*** | 国省代码： | 瑞典;SE |
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| 摘要： | 本文公开的技术涉及笛卡尔网格与随着扫描头追踪弯曲扫描路径产生变化曝光剂量的弯曲扫描路径之间的变换。该技术可以应用于对工件的读写。尤其，我们展示了补偿弯曲扫描路径以便过渡到直轴的变化曝光剂量的使用。这样就简化了将来自它的数据投影到工件上的调制器的调制，或将工件的局部图像投影在上面的检测器收集的数据的分析。 | ||
| 搜索关键词： | 期间 剂量 可变 转子 光学 部件 成像 方法 系统 | ||
【主权项】：
一种调整随着写入器扫掠不与工件的第一轴平行的弯曲路径沿着第一轴变化和累积的曝光剂量的方法，所述方法包括：当将栅格化图像的特定像素写在工件上或从工件上读取特定像素时确定扫描头的扫掠方向；在计算机可读存储媒体中查找校正因子，或至少部分根据扫掠方向相对于工件的第一轴的角度计算校正因子；以及应用特定像素的校正因子来调整特定像素在工件上的累积强度。
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