[发明专利]等离子体坩埚的密封有效
| 申请号： | 201080008889.8 | 申请日： | 2010-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN102388430A | 公开（公告）日： | 2012-03-21 |
| 发明（设计）人： | A·S·尼特;B·普雷斯顿;E·C·奥德尔;A·萨迪克;H·桑德 | 申请（专利权）人： | 塞拉维申有限公司 |
| 主分类号： | H01J9/395 | 分类号： | H01J9/395;H01J9/40;H01J65/04 |
| 代理公司： | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 | 代理人： | 王勇 |
| 地址： | 英国米尔*** | 国省代码： | 英国;GB |
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| 摘要： | 一种等离子体坩埚(92)具有通孔(93)和紧挨着被密封到坩埚的端面(901，902)上的两根管(981，982)。在填充坩埚前，封闭一根管(981)。由于在去尖时管上没有压力差，其可以在玻璃机床上实现以使其形成平端(983)。抽真空后，投料并填充气体，另一根管(902)以类似的方式被去尖。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 坩埚 密封 | ||
【主权项】：
一种密封被填充等离子体坩埚的方法，包括以下步骤：·提供具有敞开的中空的透明材料的等离子体坩埚，所述中空具有开口；·提供从坩埚的开口延伸出来的可熔化为透明材料的材料的管且将该管气密密封至与中空连通的坩埚；·经由该管加入可激发材料到中空内；·经由该管对中空抽真空；·经由该管引入惰性气体到中空内；和·通过在开口或靠近开口处密封管来密封该中空，包封可激发材料和惰性气体。
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