[发明专利]彩色滤光片生产线、生产线控制系统、生产线控制方法有效
| 申请号： | 201080003197.4 | 申请日： | 2010-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN102216815A | 公开（公告）日： | 2011-10-12 |
| 发明（设计）人： | 小河洋平;三山晃;畠康高;桑村健介 | 申请（专利权）人： | 凸版印刷株式会社 |
| 主分类号： | G02B5/20 | 分类号： | G02B5/20;G02F1/1335 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 杨宏军 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种可减少设置空间及所需装置的台数的彩色滤光片生产线。构成彩色滤光片生产线的着色图案形成生产线(121)具备在光刻法的各个制造工序并列地设置的多台处理装置(清洗装置(110a)～烘烤装置(114b))和连接各个处理装置的多台搬运装置(101a～108b)。各个处理装置可切换地进行既定的两种颜色的着色图案形成。着色图案形成生产线(121)通过控制各个搬运装置的搬运目的地，使基板重复循环到在从搬入装置LD所投入的基板上形成全部4种颜色的着色图案为止，并向搬出装置ULD排出已形成全部4种颜色的着色图案的基板。通过在形成两种颜色的着色图案时共用各个处理装置，可减少所需装置的台数及专有面积。 | ||
| 搜索关键词： | 彩色 滤光 生产线 控制系统 控制 方法 | ||
【主权项】：
一种彩色滤光片生产线，其在基板上依序形成至少4种颜色的着色图案，其特征在于：该彩色滤光片生产线具备：存储基板的存储装置，着色图案形成生产线，包含：多台处理装置，为了进行光刻法的各个制造工序的处理而并列地设置；及多台搬运装置，连接该处理装置之间，并根据在基板上所形成的着色图案，向既定的处理装置搬运基板；而在光刻法的各个制造工序，在形成两种颜色的着色图案时共用处理装置中的至少一台，搬入装置，将由该存储装置所提供的基板搬入该着色图案形成生产线，以及搬出装置，将从该着色图案形成生产线所排出的基板搬出到该存储装置；该着色图案形成生产线使基板重复循环到在基板上形成所需的着色图案为止，并向该搬出装置排出已形成所需的着色图案的基板。
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