[发明专利]有机EL显示面板及其制造方法

摘要

本发明提供一种有机EL显示面板及其制造方法。在面板(100)的下部电极(6)，设置仅有反射金属膜(60)的单层区域(150、151)。使露出的反射金属膜(60)的表面存在由来自反射金属膜60的金属材料形成的金属氧化物膜(62、63)。金属氧化物膜(62、63)通过下部电极工序的蚀刻处理和灰化处理来形成。由此，能够期待能以较低成本来生产，即使不使用像素限制层也能防止短路、异常发光，能适当地谋求像素分离。另外，能够期待以比以往更均匀的膜厚形成发光层，能实现良好的图像显示性能。

主权项

一种有机EL显示面板，包括：基板；薄膜晶体管层，形成于基板；层间绝缘膜，配置在薄膜晶体管层的上方；多个隔壁，在层间绝缘层上呈线状并列设置；多个第一电极，在所述多个隔壁中相邻的隔壁之间沿着一列配置；发光层，跨沿着所述一列配置的各第一电极的上方而形成；以及第二电极，形成在所述发光层的上方，所述第一电极各自包括反射金属膜和透明导电膜层叠而成的双层区域，在沿着所述一列对置的各第一电极的对向端部存在没有层叠透明导电膜的反射金属膜的单层区域，在所述单层区域处的反射金属膜的表面存在由构成所述反射金属膜的来源于金属材料的金属氧化物膜。