[实用新型]一种偏置平板的调整装置有效
申请号: | 201029098015.0 | 申请日: | 2010-02-05 |
公开(公告)号: | CN201611424U | 公开(公告)日: | 2010-10-20 |
发明(设计)人: | 贾翔;李中秋;严兵;陈跃飞;卢丽荣 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备有限公司 |
主分类号: | G03F9/00 | 分类号: | G03F9/00 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 201203 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种偏置平板的调整装置,它包括杠杆和驱动装置,所述杠杆具有一支点,所述偏置平板固定在杠杆上,所述杠杆的一端与所述驱动装置活动连接,其中,所述驱动装置包括电机及具有一斜切面的柱体,所述杠杆的一端始终与柱体的斜切面相接触,当电机驱动柱体旋转时,所述杠杆的一端在斜切面的支撑力作用下,绕其支点作上下摆动。本实用新型通过采用具有一斜切面的柱体代替现有技术中的凸轮,可以大大降低加工难度及制造成本;当柱体旋转时,可使杠杆的端部在空间上作高低起伏运动,从而带动偏置平板产生偏转,同时,杠杆上下摆动的高度范围和柱体的旋转角度呈线性关系,从而降低了对电机的精度要求,实现偏置平板的高精度调节。 | ||
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【主权项】:
一种偏置平板的调整装置,包括杠杆和驱动装置,所述杠杆具有一支点,所述偏置平板固定在杠杆上,所述杠杆的一端与所述驱动装置活动连接,其特征在于:所述驱动装置包括电机及具有一斜切面的柱体,所述杠杆的一端始终与柱体的斜切面相接触,当电机驱动柱体旋转时,所述杠杆的一端在斜切面的支撑力作用下,绕其支点作上下摆动。
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