[实用新型]辉光放电离子源装置用供气系统有效
| 申请号： | 201020697897.5 | 申请日： | 2010-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN201910396U | 公开（公告）日： | 2011-07-27 |
| 发明（设计）人： | 刘湘生;刘英;潘元海;李继东;王长华 | 申请（专利权）人： | 北京有色金属研究总院 |
| 主分类号： | H01J49/04 | 分类号： | H01J49/04 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人： | 赵郁军 |
| 地址： | 100088*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种辉光放电离子源装置用供气系统，它包括一个稳压阀、一个微调阀、一个进气阀门、两个真空泵，载气源的输出口经由该稳压阀、微调阀、进气阀门与辉光放电离子源装置的进气口连接，该进气口经由一个充空气阀门与外部大气连通，两个该真空泵分别经由一个抽气阀门与该辉光放电离子源装置上相应的抽气口连接。在辉光放电过程中，本实用新型可使离子源装置内的载气压力处于动态平衡状态，保持了离子源装置内载气的纯度，提高了辉光放电的稳定性。在很差的实验环境下，可通过本实用新型向离子源装置内充入载气来更换分析样品，从而避免外部空气中的蒸汽、水分或污物进入离子源装置，对离子源装置造成污染。 | ||
| 搜索关键词： | 辉光 放电 离子源 装置 供气 系统 | ||
【主权项】：
一种辉光放电离子源装置用供气系统，其特征在于：它包括一个稳压阀、一个微调阀、一个进气阀门、两个真空泵，其中：载气源的输出口经由该稳压阀、微调阀、进气阀门与辉光放电离子源装置的进气口连接，该进气口经由一个充空气阀门与外部大气连通，两个该真空泵分别经由一个抽气阀门与该辉光放电离子源装置上相应的抽气口连接。
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