[实用新型]一种真空双面曝光装置有效
| 申请号： | 201020690703.9 | 申请日： | 2010-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN201955620U | 公开（公告）日： | 2011-08-31 |
| 发明（设计）人： | 张震奇 | 申请（专利权）人： | 福州时创电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 厦门龙格专利事务所(普通合伙) 35207 | 代理人： | 娄烨明 |
| 地址： | 350003 福建省福州市鼓楼区*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种真空双面曝光装置，主要包括有曝光装置和真空装置，所述的曝光装置由上机盖与下机盖通过铰链连接而成；所述的上机盖呈箱体状，其内装设有上曝光灯管，上机盖内表面水平铺设有一曝光源挡板；所述的下机盖呈箱体状，其内装设有下曝光灯管；下机盖前端装设有控制面板；所述的真空装置主要包括有真空架和气泵，所述的真空架是由上真空架与下真空架采用合页连接，卡扣闭合而成；所述的真空架设于下机盖的曝光灯管的上方，所述的气泵设于下机盖内部；气泵与真空架内部相连通；本实用新型结构简单、操作方便实用的一种真空双面曝光装置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 双面 曝光 装置 | ||
【主权项】：
一种真空双面曝光装置，其特征在于：主要包括有曝光装置和真空装置，所述的曝光装置由上机盖(1)与下机盖(8)通过铰链(11)连接而成；所述的上机盖(1)呈箱体状，其内装设有上曝光灯管(3)，上机盖(1)内表面水平铺设有一曝光源挡板(4)；所述的下机盖(8)呈箱体状，其内装设有下曝光灯管(10)；下机盖(8)前端装设有控制面板(7)；所述的真空装置主要包括有真空架(5)和气泵(12)，所述的真空架(5)是由上真空架与下真空架采用合页连接，卡扣闭合而成；所述的真空架(5)设于下机盖(8)的曝光灯管(10)的上方，所述的气泵(12)设于下机盖(8)内部；气泵(12)与真空架(5)内部相连通。
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