[实用新型]晶片角度测试定位装置无效
| 申请号： | 201020690078.8 | 申请日： | 2010-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN201945302U | 公开（公告）日： | 2011-08-24 |
| 发明（设计）人： | 任先林;沈克文 | 申请（专利权）人： | 常州松晶电子有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/22 | 分类号： | G01B21/22 |
| 代理公司： | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人： | 何学成 |
| 地址： | 213034 江苏省常*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及对晶片角度测试的技术领域，具体涉及一种在制造晶片过程中对晶片角度检测、测量的晶片角度测试定位装置，包括上端面设有晶片托台的工作台基座，工作台基座的一端设有测试台，以及位于工作台基座一侧的X光发生器以及另一侧用于接收X光的计数管，所述测试台的一侧设有真空吸附装置，其真空吸附装置包括设置在测试台一侧的至少三个真空吸管，所述真空吸管的真空吸头在同一个平面上。本实用新型的有益效果是：晶片的角度检测稳定、大大降低了测量器具的误差，为晶片切割提供准确可信性角度分析数据；同时材质耐磨性强，大大延长了测试台的维护周期。 | ||
| 搜索关键词： | 晶片 角度 测试 定位 装置 | ||
【主权项】：
晶片角度测试定位装置，包括上端面设有晶片托台的工作台基座，工作台基座的一端设有测试台，以及位于工作台基座一侧的X光发生器以及另一侧用于接收X光的计数管，其特征在于：所述测试台的一侧设有真空吸附装置，其真空吸附装置包括设置在测试台一侧的至少三个真空吸管，所述真空吸管的真空吸头在同一个平面上。
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