[实用新型]晶片单面抛光机防撞减压装置无效
| 申请号： | 201020653218.4 | 申请日： | 2010-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN201940890U | 公开（公告）日： | 2011-08-24 |
| 发明（设计）人： | 李明;陈明寿;杨理 | 申请（专利权）人： | 昆明台兴精密机械有限责任公司 |
| 主分类号： | B24B29/02 | 分类号： | B24B29/02;B24B55/00 |
| 代理公司： | 昆明今威专利代理有限公司 53115 | 代理人： | 赵云 |
| 地址： | 650202 云南省昆明市龙*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | 本实用新型抛光机的缓冲装置，特别是晶片单面抛光机的防撞缓冲装置，属于抛光机械技术领域。本缓冲装置的特征是，在与气缸活塞杆成一体的上磨盘转轴上连接有减振传动杆，在传动杆的行程上、下止点分别安装有阻尼油缸，阻尼油缸内装有复位的压力弹簧，阻尼油缸的液压油接口接于储油器上。本实用新型结构简单，可以承受很大的气缸压力和较长的行程，缓冲气缸在上下行程止点产生的冲击，减轻抛光头的冲击力量，保证半导体晶片的抛光质量，并延长抛光机的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 晶片 单面 抛光机 减压 装置 | ||
【主权项】：
一种晶片单面抛光机防撞减压装置，其特征是：在与气缸活塞杆成一体的上磨盘转轴上连接有减振传动杆，在传动杆的行程上、下止点分别安装有阻尼油缸，阻尼油缸内装有复位的压力弹簧，阻尼油缸的液压油接口接于储油器上。
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