[实用新型]研磨垫修整器有效
| 申请号： | 201020644152.2 | 申请日： | 2010-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN201998059U | 公开（公告）日： | 2011-10-05 |
| 发明（设计）人： | 高思玮 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B24B53/12 | 分类号： | B24B53/12 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型的研磨垫修整器包括固定基座，其特征在于，在所述固定基座内、沿所述固定基座的圆周开设一导流槽，在所述导流槽与所述固定基座的内侧壁之间设有多个喷射孔，至少一管路与所述导流槽相连，所述管路的一端设有水阀，该水阀由控制器控制。本实用新型的研磨垫修整器具有自清洗功能，能方便、及时清洗其头部结构内的结晶体。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 修整 | ||
【主权项】：
一种研磨垫修整器，包括固定基座，其特征在于，在所述固定基座内、沿所述固定基座的圆周开设一导流槽，在所述导流槽与所述固定基座的内侧壁之间设有多个喷射孔，至少一管路与所述导流槽相连，所述管路的一端设有水阀，该水阀由控制器控制。
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