[实用新型]一种用于TFT玻璃基板的退火温度控制装置有效
申请号: | 201020586663.3 | 申请日: | 2010-10-28 |
公开(公告)号: | CN201896128U | 公开(公告)日: | 2011-07-13 |
发明(设计)人: | 刘琎;宁小永 | 申请(专利权)人: | 陕西彩虹电子玻璃有限公司 |
主分类号: | C03B25/02 | 分类号: | C03B25/02 |
代理公司: | 西安智大知识产权代理事务所 61215 | 代理人: | 刘国智 |
地址: | 712021*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种用于TFT玻璃基板的退火温度控制装置,包括加热模块1,还包括均温板4,均温板4通过伸缩机构3与退火炉2连接,退火炉2上固定有加热模块1。该退火温度控制装置能够使得退火炉内部的温度和气流可控,具有结构简单易于利用的特点。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 tft 玻璃 退火 温度 控制 装置 | ||
【主权项】:
一种用于TFT玻璃基板的退火温度控制装置,包括加热模块(1),其特征在于,还包括均温板(4),均温板(4)通过伸缩机构(3)与退火炉(2)连接,退火炉(2)上固定有加热模块(1)。
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