[实用新型]一种用于TFT玻璃基板的退火温度控制装置有效

专利信息
申请号: 201020586663.3 申请日: 2010-10-28
公开(公告)号: CN201896128U 公开(公告)日: 2011-07-13
发明(设计)人: 刘琎;宁小永 申请(专利权)人: 陕西彩虹电子玻璃有限公司
主分类号: C03B25/02 分类号: C03B25/02
代理公司: 西安智大知识产权代理事务所 61215 代理人: 刘国智
地址: 712021*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 实用新型公开了一种用于TFT玻璃基板的退火温度控制装置,包括加热模块1,还包括均温板4,均温板4通过伸缩机构3与退火炉2连接,退火炉2上固定有加热模块1。该退火温度控制装置能够使得退火炉内部的温度和气流可控,具有结构简单易于利用的特点。
搜索关键词: 一种 用于 tft 玻璃 退火 温度 控制 装置
【主权项】:
一种用于TFT玻璃基板的退火温度控制装置,包括加热模块(1),其特征在于,还包括均温板(4),均温板(4)通过伸缩机构(3)与退火炉(2)连接,退火炉(2)上固定有加热模块(1)。
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