[实用新型]一种太阳能硅单晶炉的充气装置无效
| 申请号： | 201020541289.5 | 申请日： | 2010-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN201915163U | 公开（公告）日： | 2011-08-03 |
| 发明（设计）人： | 杨荣启;杨朝旭;文武;李晓平;张春华 | 申请（专利权）人： | 北京京仪世纪电子股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100079 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种太阳能级硅单晶炉的充气装置，它由副室充气管接头1、主室充气管接头2、气源充气管接头3、第一常闭电磁截止阀7、第二常闭电磁截止阀8、第三常闭电磁截止阀9、第一手动隔膜阀4、第二手动隔膜阀6、质量流量控制器5用无缝钢管及相应管接头按特定结构顺序连接而成。通过质量流量控制器5、第二常闭电磁截止阀8、第三常闭电磁截止阀9来实现对硅单晶炉主室和副室进行自动精确充气；通过第一常闭电磁截止阀7来实现对硅单晶炉副室的自动快速充气；通过第一手动隔膜阀4和第二手动隔膜阀6来实现对硅单晶炉的主室和副室进行手动充气。本实用新型使用方便，结构简单。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 太阳能 硅单晶炉 充气 装置 | ||
【主权项】：
一种太阳能级硅单晶炉的充气装置，其特征是：充气装置中的副室充气管接头(1)、主室充气管接头(2)、气源充气管接头(3)、第一常闭电磁截止阀(7)、第二常闭电磁截止阀(8)、第三常闭电磁截止阀(9)、第一手动隔膜阀(4)、第二手动隔膜阀(6)和质量流量控制器(5)按特定结构连接固定在面板上，第一手动隔膜阀(4)、第二手动隔膜阀(6)、第一常闭电磁截止阀(7)和质量流量控制器(5)并联，第一手动隔膜阀(4)、第二手动隔膜阀(6)、第一常闭电磁截止阀(7)和质量流量控制器(5)的进气口和气源充气管接头(3)相连接，第二常闭电磁截止阀(8)和第三常闭电磁截止阀(9)并联后与质量流量控制器(5)串联，第二常闭电磁截止阀(8)和第三常闭电磁截止阀(9)的进气口与质量流量控制器(5)的出气口相连接，第一手动隔膜阀(4)和第三常闭电磁截止阀(9)并联，第一手动隔膜阀(4)和第三常闭电磁截止阀(9)的出气口与副室充气管接头(1)相连接，第二常闭电磁截止阀(8)、第一常闭电磁截止阀(7)和第二手动隔膜阀(6)并联，第二常闭电磁截止阀(8)、第一常闭电磁截止阀(7)和第二手动隔膜阀(6)的出气口与主室充气管接头(2)相连接。
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