[实用新型]化学品供应系统管路有效
| 申请号： | 201020266005.6 | 申请日： | 2010-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN201844199U | 公开（公告）日： | 2011-05-25 |
| 发明（设计）人： | 王怀锋 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | F17D1/14 | 分类号： | F17D1/14 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种化学品供应系统管路，所述化学品供应系统管路包括主管路、供液管路以及回流管路，所述主管路分别与所述供液管路及回流管路相连，所述供液管路通过第二气动阀门与第一原液桶及第二原液桶相连，所述回流管路通过第三气动阀门与所述第一原液桶及第二原液桶相连，所述第二气动阀门与所述第三气动阀门由同一电气信号控制，保证所述第二气动阀门与所述第三气动阀门同时接通所述第一原液桶或者所述第二原液桶，从而防止所述第一原液桶和所述第二原液桶因相互汲取而造成化学品外溢，避免了化学品浪费，提高了化学品供应系统的安全。 | ||
| 搜索关键词： | 化学品 供应 系统 管路 | ||
【主权项】：
一种化学品供应系统管路，其特征在于，包括：主管路，所述主管路包括依次相连的水泵、第一气动阀门以及使用桶；供液管路，所述供液管路包括第二气动阀门、第一原液桶以及第二原液桶，所述第二气动阀门包括第一端口、第二端口及第三端口，所述第二气动阀门的第一端口、第二端口及第三端口分别与所述水泵、所述第一原液桶以及所述第二原液桶相连；以及回流管路，所述回流管路包括第三气动阀门，所述第三气动阀门包括第一端口、第二端口及第三端口，所述第三气动阀门的第一端口接在所述水泵与所述使用桶之间，所述第三气动阀门的第二端口及第三端口分别与所述第一原液桶以及所述第二原液桶相连，且所述第一气动阀门位于所述第三气动阀门与所述使用桶之间，所述第二气动阀门与所述第三气动阀门由同一电气信号控制。
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