[实用新型]三氯氢硅合成炉测温元件保护装置

摘要

三氯氢硅合成炉测温元件保护装置，属于化工设备技术领域，用以解决三氯氢硅合成炉测温元件损坏的问题，其技术方案是：它由法兰，保护套、热电偶套组成，法兰安装在合成炉炉体的外壁上，保护套为圆筒状无缝钢管，保护套的一端与法兰焊接连接，保护套的另一端深入到炉体中，热电偶套穿过法兰孔，它的上部在合成炉炉体外，下部位于保护套内，热电偶套的下端封闭，热电偶安装在热电偶套中，热电偶采用铠装热电偶，用螺栓固定在法兰上。采用这种结构的三氯氢硅合成炉测温元件保护装置，可以使测温元件避免受到高温和硅粉的冲刷和腐蚀性物质的侵蚀，起到安全防护的作用。本装置具有整体结构简单、安全、安装方便、实用的优点。

主权项

一种三氯氢硅合成炉测温元件保护装置，其特征在于：它由法兰[2]，保护套[3]、热电偶套[4]组成，法兰[2]安装在合成炉炉体[1]的外壁上，保护套[3]为圆筒状无缝钢管，保护套[3]的一端与法兰[2]焊接连接，保护套[3]的另一端深入到合成炉炉体[1]中，热电偶套[4]穿过法兰孔，它的上部在合成炉炉体[1]外，下部位于保护套[3]内，热电偶套[4]的下端封闭，热电偶[5]安装在热电偶套[4]中。