[实用新型]红外光纤冷却装置有效
申请号: | 201020201751.7 | 申请日: | 2010-05-21 |
公开(公告)号: | CN201713571U | 公开(公告)日: | 2011-01-19 |
发明(设计)人: | 龙汝磊;郑振宇;张奇;张子业 | 申请(专利权)人: | 光驰科技(上海)有限公司 |
主分类号: | C23C14/52 | 分类号: | C23C14/52 |
代理公司: | 上海申汇专利代理有限公司 31001 | 代理人: | 林炜 |
地址: | 200436 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 一种红外光纤冷却装置,涉及冷却装置技术领域,所解决的是红外光纤耐热性差的技术问题。该装置包括红外光纤、水冷导入座、易导热的热屏蔽筒、透镜座和易导热的热屏蔽罩;所述热屏蔽罩固定在透镜座的上端,并将透镜座上部的光纤罩设于内;所述热屏蔽筒与热屏蔽罩套接,其筒壁与热屏蔽罩的周面紧密贴合,其外表面焊有两根冷却水管;所述水冷导入座上设有分别连接两根冷却水管的进水口和回水口;所述透镜座内设有串接两根冷却水管的水冷夹套;所述红外光纤穿入热屏蔽筒,其头部固定连接透镜座的上端,其尾部从热屏蔽筒的上端伸出;所述透镜座的下端面设有隔热垫。本实用新型提供的装置,能使红外光纤在真空镀膜的成膜温度下长时间稳定工作。 | ||
搜索关键词: | 红外 光纤 冷却 装置 | ||
【主权项】:
一种红外光纤冷却装置,其特征在于:包括红外光纤、水冷导入座、易导热的热屏蔽筒、透镜座和易导热的热屏蔽罩;所述透镜座的内部装有透镜,所述热屏蔽罩固定在透镜座的上端,并将透镜座上部的光纤罩设于内;所述热屏蔽筒与热屏蔽罩套接,其筒壁与热屏蔽罩的周面紧密贴合,其内径大于红外光纤头部的外径,其外表面焊有两根冷却水管;所述水冷导入座上设有一进水口、一回水口,其进水口连接热屏蔽筒外表面的一根冷却水管,其回水口连接热屏蔽筒外表面的另一根冷却水管;所述透镜座内设有水冷夹套,所述水冷夹套的两端分别串接热屏蔽筒外表面的两根冷却水管;所述红外光纤穿入热屏蔽筒,其头部固定连接透镜座的上端,其尾部从热屏蔽筒的上端伸出;所述透镜座的下端面设有隔热垫。
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