[实用新型]一种液晶面板掩模修复系统无效
| 申请号： | 201020184844.3 | 申请日： | 2010-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN201689280U | 公开（公告）日： | 2010-12-29 |
| 发明（设计）人： | 王春玲;王君 | 申请（专利权）人： | 重庆天缔仪器制造有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B27/09;G02B27/28;G02F1/13 |
| 代理公司： | 北京同恒源知识产权代理有限公司 11275 | 代理人： | 谢殿武 |
| 地址： | 400712 重*** | 国省代码： | 重庆;85 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种液晶面板掩模修复系统，包括激光光源、激光整形器和显微观测器，所述激光整形器包括光能调节模块、光斑调整模块和整形光输出端，激光光源输出激光依次经光能调节模块、光斑调整模块由整形光输出端输入显微观测器，由显微观测器的物镜输出至待修复的液晶面板。光能调节模块通过偏振片选择性透过偏振激光实现了对激光能量的连续调节；光斑调整模块利用扩束镜目镜与物镜间光路距离调节和光阑孔径大小调节结合，实现了输出光斑的大小的连续调节；整形光输出端在显微观测器的目镜和物镜间设置激光转折镜，将激光在物镜处直接引入，指示激光和工作打击激光都不经过目镜，降低显微目镜的透光要求，优化了掩模修复系统结构。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 液晶面板 修复 系统 | ||
【主权项】：
一种液晶面板掩模修复系统，其特征在于：包括激光光源、激光整形器和显微观测器，所述激光整形器包括光能调节模块、光斑调整模块和整形光输出端，激光光源输出激光依次经光能调节模块、光斑调整模块由整形光输出端输入显微观测器，由显微观测器的物镜输出至待修复的液晶面板。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于重庆天缔仪器制造有限责任公司，未经重庆天缔仪器制造有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201020184844.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：矿用分站模拟量输出调节系统
- 下一篇：用于手机按键渐消工艺的网状菲林
