[实用新型]一种适用于粉体磁控溅射镀膜用的超声波样品台无效
| 申请号： | 201020132829.4 | 申请日： | 2010-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN201665704U | 公开（公告）日： | 2010-12-08 |
| 发明（设计）人： | 沈志刚;俞晓正;蔡楚江;麻树林;邢玉山 | 申请（专利权）人： | 北京航空航天大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/50 |
| 代理公司： | 北京永创新实专利事务所 11121 | 代理人： | 李有浩 |
| 地址： | 100191*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种适用于粉体磁控溅射镀膜用的超声波样品台，该超声波样品台包括有样品容器、共振器和超声波发生器，样品容器置于共振器上方，共振器通过电缆与超声波发生器相连。在粉体磁控溅射镀膜过程中，通过调节超声波频率20kHz～500kHz和功率50W～2000W来带动共振器，使得共振器能够把声波均匀地施加到样品容器上，从而使样品容器内的粉体上下跳动并均匀地分散，且使粉体表面镀覆上均匀的薄膜，这样就满足了粉体均匀磁控溅射镀膜的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 适用于 磁控溅射 镀膜 超声波 样品 | ||
【主权项】：
一种适用于粉体磁控溅射镀膜用的超声波样品台，其特征在于：该超声波样品台包括有样品容器、共振器和超声波发生器，样品容器置于共振器上方，共振器通过电缆与超声波发生器相连。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京航空航天大学，未经北京航空航天大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201020132829.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
