[实用新型]精准定位溅镀装置

摘要

本实用新型公开了一种精准定位溅镀装置，所述精准定位溅镀装置包括有定位夹具，该定位夹具具有与溅镀转盘的定位轴芯匹配的中心孔，定位夹具同轴地装配于连接环上，移动连接环与定位夹具使所述定位夹具的中心孔套于所述溅镀转盘的轴芯上，将连接环固定在精准定位溅镀装置的主体盖板上，精准快速地实现内设有靶材的阴极与承载在溅镀转盘上的待镀光盘之间的定位，提高装配速度。通过所述定位夹具使连接环与定位轴芯保持同心，保障光盘和阴极都处在预期的合适的位置，从而保证溅镀层的溅镀效果，特别是保证溅镀层不偏心，提高光盘成品率。

主权项

一种精准定位溅镀装置，包括主体、主体盖板、溅镀转盘、阴极、连接环、机械手、转盘驱动机构，所述主体开设有空腔，所述空腔包括相互连通的溅镀腔及输送腔，所述主体盖板固定在所述主体上并开设有分别与所述溅镀腔及输送腔对应连通的输送敞口及溅镀敞口，所述转盘驱动机构安装在所述主体上并与所述溅镀转盘连接，所述溅镀转盘开设有与光盘相匹配的承载腔，所述溅镀转盘中心处设有伸入所述承载腔用于固定光盘的定位轴芯，所述机械手设置于所述输送腔正上方，所述连接环与所述主体盖板连接并收容于所述主体盖板的溅镀敞口内，所述阴极安装于所述连接环上，所述阴极内设置有溅镀用靶材，所述机械手对位于所述输送腔内的溅镀转盘放置或取走光盘，放置有靶材的阴极对位于所述溅镀腔内的溅镀转盘上的光盘进行镀膜，所述转盘驱动机构驱动所述溅镀转盘在所述空腔内旋转将未溅镀的光盘载入和将溅镀后的光盘载出所述溅镀腔，其特征在于，还包括有定位夹具，所述定位夹具具有与所述溅镀转盘的定位轴芯相匹配的中心孔，所述定位夹具同轴地装配于所述连接环上，移动所述连接环与定位夹具使所述定位夹具的中心孔套于所述溅镀转盘的轴芯上，将连接环固定在所述主体盖板上，实现阴极与光盘之间的定位。