[实用新型]基于多平台的超精密自动对焦系统

摘要

本实用新型是一种基于多平台的超精密自动对焦系统。包括有大范围调节物镜到玻璃平台上表面的距离的Z向大行程精密调节机构、执行物镜的小范围调节的Z向小行程精密微调机构、图像采集光学模组、图像采集处理控制系统、自动对焦执行控制系统，其中图像采集光学模组将采集到的光斑信息通过接口传输到图像采集处理控制系统，图像采集处理控制系统计算出物镜的离焦关系通过接口传输到自动对焦执行控制系统，自动对焦执行控制系统完成自动对焦过程，并发送控制指令，使玻璃平台运动。本实用新型的自动对焦系统对焦精确度高，对焦稳定性好、对焦速度快，平台工作行程大，可满足精密工程的需要。本实用新型的基于多平台的超精密自动对焦系统的实现方法方便实用。

主权项

一种基于多平台的超精密自动对焦系统，其特征在于包括有大范围调节物镜到玻璃平台(6)上表面的距离的Z向大行程精密调节机构(1)、执行物镜的小范围调节的Z向小行程精密微调机构(2)、图像采集光学模组(3)、图像采集处理控制系统(4)、自动对焦执行控制系统(5)，其中图像采集光学模组(3)将采集到的光斑信息通过接口传输到图像采集处理控制系统(4)，图像采集处理控制系统(4)计算出物镜的离焦关系通过接口传输到自动对焦执行控制系统(5)，自动对焦执行控制系统(5)完成自动对焦过程，并发送控制指令，使玻璃平台(6)运动。