[实用新型]一种镀膜机用镀膜夹具无效

专利信息
申请号: 201020020506.6 申请日: 2010-01-20
公开(公告)号: CN201587977U 公开(公告)日: 2010-09-22
发明(设计)人: 梁海锋;弥谦;蔡长龙 申请(专利权)人: 西安工业大学
主分类号: C23C14/00 分类号: C23C14/00;C23C16/00
代理公司: 西安新思维专利商标事务所有限公司 61114 代理人: 黄秦芳
地址: 710032*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 实用新型涉及一种镀膜机用镀膜夹具。传统的镀膜机中,所沉积的薄膜均匀性差,成膜的质量不理想。本实用新型的一种镀膜机用镀膜夹具,包括设置于公转轴上的公转盘、公转盘上均布设置的多组自转组件,所述每个自转组件均包括固定齿轮、自转齿轮、支撑管、自转轴、自转盘齿、锥齿轮、工件架和自转盘,固定齿轮与公转盘和自转齿轮啮合联接;自转齿轮的下部通过自转轴与自转盘固定联接;自转轴支撑管转动连接;支撑管固联在公转盘上,自转盘齿和支撑管固联,自转轴下端和自转盘固联;多个锥齿轮设于自转盘的外周,并和自转盘齿啮合。本实用新型具有了公转、自转和本身的回转三个方向的运动,可以满足表面面型复杂的回转零件的膜层的均匀性要求。
搜索关键词: 一种 镀膜 夹具
【主权项】:
一种镀膜机用镀膜夹具,包括设置于公转轴上的公转盘(1)、其特征在于:还包括工转盘(1)上均布设置的多组自转组件,所述每个自转组件均包括固定齿轮(2)、自转齿轮(3)、支撑管(4)、自转轴(5)、自转盘齿(6)、锥齿轮(7)、工件架(8)和自转盘(9),所述固定齿轮(2)为圆形,其与公转盘(1)同轴设置且和自转齿轮(3)啮合联接;自转齿轮(3)的下部通过穿设于公转盘(1)上的自转轴(5)与自转盘(9)固定联接;自转轴(5)通过止推轴承(10)和支撑管(4)转动连接;支撑管(4)固联在公转盘(1)上,自转盘齿(6)和支撑管(4)固联,自转轴(5)下端和自转盘(9)固联;多个锥齿轮(7)通过轴承均设于自转盘(9)的外周,并和自转盘齿(6)啮合,锥齿轮(7)和工件架(8)固联。
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