[发明专利]一种极薄覆盖层厚度的测量方法无效

专利信息
申请号: 201010608424.8 申请日: 2010-12-28
公开(公告)号: CN102564326A 公开(公告)日: 2012-07-11
发明(设计)人: 程祥勇;廖立新 申请(专利权)人: 中国航空工业标准件制造有限责任公司
主分类号: G01B11/06 分类号: G01B11/06
代理公司: 贵州国防工业专利中心 52001 代理人: 蔡丽华
地址: 550014 贵州*** 国省代码: 贵州;52
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摘要: 一种极薄覆盖层厚度的测量方法,是在金相试样上,采用斜交于覆盖层取样,按照GB6462-86《金属和氧化物覆盖层横断面厚度显微镜测量方法》通过显微镜测量试样的厚度值,其试样基体制作方法是:沿垂直于覆盖层的截取面截取试样,得到的截面为检测面,测得其厚度测量值为a,在与覆盖层表面斜交、夹角为α的面截取检测放大面,得到检测放大面,测得其厚度测量值为b,则最终测定值δ=bsinα。
搜索关键词: 一种 覆盖层 厚度 测量方法
【主权项】:
一种极薄覆盖层厚度的测量方法,是在金相试样上,采用斜交于覆盖层取样,按照GB6462‑86《金属和氧化物覆盖层横断面厚度显微镜测量方法》通过显微镜测量试样的厚度值,其特征在于:沿垂直于覆盖层的截取面截取试样,得到的截面为检测面,测得其厚度测量值为a,在与覆盖层表面斜交、夹角为α的面截取检测放大面,得到检测放大面,测得其厚度测量值为b,则最终测定值δ=bsinα。
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