[发明专利]基于多层薄膜的热电偶温度传感器无效
| 申请号： | 201010594407.3 | 申请日： | 2010-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN102564628A | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 曾其勇;郑晓峰;余忠华;吴凯;朱明 | 申请（专利权）人： | 中国计量学院 |
| 主分类号： | G01K7/02 | 分类号： | G01K7/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 310018 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 基于多层薄膜的热电偶温度传感器由刀片、热电偶薄膜电极层、绝缘薄膜层和耐磨保护薄膜层组成，其特征是，采用磁控溅射方法在刀片的前刀面上制备NiCr热电偶薄膜电极和NiSi热电偶薄膜电极，两薄膜电极在刀片的刀尖处重叠形成热电偶温度传感器的测温接点；然后采用磁控反应溅射方法在靠近切削刃一边沉积Al2O3绝缘薄膜层；最后采用磁控反应溅射方法在靠近切削刃一边制备TiAlN耐磨保护薄膜层。热电偶测温接点体积小，可以更靠近刀尖，又由于热容量小，响应快；同时热电偶薄膜层、绝缘薄膜层和耐磨保护薄膜层之间，以及它们与刀片基体之间具有足够的附着强度，因此可以快速而准确地测量高速切削动态变化的温度。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 多层 薄膜 热电偶 温度传感器 | ||
【主权项】：
基于多层薄膜的热电偶温度传感器由刀片、热电偶薄膜电极层、绝缘薄膜层和耐磨保护薄膜层组成，其特征是，采用磁控溅射方法在刀片(1)的前刀面上制备NiCr热电偶薄膜电极(2)和NiSi热电偶薄膜电极(3)，两薄膜电极在刀片的刀尖处重叠形成热电偶温度传感器的测温接点(A)；然后采用磁控反应溅射方法在靠近切削刃一边沉积Al2O3绝缘薄膜层(4)；最后采用磁控反应溅射方法在靠近切削刃一边制备TiAlN耐磨保护薄膜层(5)。
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