[发明专利]等离子体发生器有效
| 申请号： | 201010582747.4 | 申请日： | 2010-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN102098865A | 公开（公告）日： | 2011-06-15 |
| 发明（设计）人： | 糸村大辅;寺亮之介 | 申请（专利权）人： | 株式会社电装 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 王小衡;王忠忠 |
| 地址： | 日本爱知*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种等离子体发生器，其被提供有圆柱形腔室部分，该圆柱形腔室部分具有圆柱电极；孔板，其设置在该圆柱形腔室部分中以便将该圆柱形腔室部分分隔成具有进气口的第一腔室和具有排气口的第二腔室；杆状电极，其设置在第二腔室内部并位于圆柱电极的中心轴处，以及子电极，其设置在第一腔室处并且能够施加与该圆柱电极不同的电势，该等离子体发生器在圆柱电极与杆状电极之间施加电场以产生等离子体，进一步在圆柱电极和子电极之间分离地施加电场以产生与在杆状电极和圆柱电极之间产生的等离子体分离的等离子体，以及具有通过孔板的孔连接的第一腔室和第二腔室的等离子体区域。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 发生器 | ||
【主权项】：
一种等离子体发生器，其被提供有圆柱形腔室部分，该圆柱形腔室部分具有圆柱电极（1）；孔板（4），其设置在所述圆柱形腔室部分中以便将所述圆柱形腔室部分分隔成具有进气口（10）的第一腔室（2）和具有排气口（11）的第二腔室（3）；杆状电极（5），其设置在所述第二腔室（3）内部并位于所述圆柱电极（1）的中心轴处，以及子电极（6），其设置在所述第一腔室（2）处并且能够施加与所述圆柱电极（1）不同的电势，所述等离子体发生器在所述圆柱电极（1）与所述杆状电极（5）之间施加电场以产生等离子体，进一步在所述圆柱电极（1）和所述子电极（6）之间分离地施加电场以产生与在所述杆状电极（5）和所述圆柱电极（1）之间产生的等离子体分离的等离子体，以及具有通过所述孔板（4）的孔连接的所述第一腔室（2）和所述第二腔室（3）的等离子体区域。
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