[发明专利]多铁性Fe:BaTiO3薄膜材料及其制备方法无效
| 申请号： | 201010581659.2 | 申请日： | 2010-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN102163485A | 公开（公告）日： | 2011-08-24 |
| 发明（设计）人： | 周真真;侯登录;张倩;马丽;甄聪棉 | 申请（专利权）人： | 河北师范大学 |
| 主分类号： | H01F10/00 | 分类号： | H01F10/00;C23C14/28;C23C14/06 |
| 代理公司： | 石家庄新世纪专利商标事务所有限公司 13100 | 代理人： | 董金国 |
| 地址： | 050016 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种多铁性Fe:BaTiO3薄膜材料及其制备方法，先用脉冲激光沉积在低阻Si基底上生长一层BaTiO3薄膜，然后用多功能离子注入与离子束溅射系统往BaTiO3薄膜中注入不同剂量的Fe。Fe的注入剂量为3×1016cm-2、5×1016cm-2时，材料具有较强的本征室温铁磁性，其来源于Fe3+离子之间的交换相互作用，同时保持着良好的室温铁电性，更重要的是存在明显的耦合现象，并且随着注入剂量的增大，耦合增强；当Fe的注入剂量介于1×1016cm-2和8×1016cm-2之间时，Fe:BaTiO3薄膜是一种良好的多铁性材料，其在多态存储器、磁场传感器等方面应用前景广阔。 | ||
| 搜索关键词： | 多铁性 fe batio sub 薄膜 材料 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种多铁性Fe:BaTiO3薄膜材料，其特征在于，表达式中：1×1016cm‑2＜Fe的注入剂量＜8×1016cm‑2。
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