[发明专利]一种重力补偿装置有效
| 申请号： | 201010571517.8 | 申请日： | 2010-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN102486215A | 公开（公告）日： | 2012-06-06 |
| 发明（设计）人： | 廖飞红;李小平;朱岳彬 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | F16F15/027 | 分类号： | F16F15/027;G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种重力补偿装置，用于支撑光刻机中工件台和掩模台的微动台，并与供气气源气路相通，包括第一气室、活塞、支撑板和气动阀，其中所述第一气室支撑所述活塞；所述支撑板，用于支撑所述微动台，位于所述活塞上方，并与所述活塞固定连接；所述阀与所述第一气室相连通，调节第一气室气压。所述重力补偿装置具有以下优点：1、结构简单；2、具有较低的刚度，能隔离低频的振动；3、所述重力补偿装置具有一定的阻尼，能降低共振；3、不向环境排放气体，能应用于真空环境；4、负载变化时，调节第一气室中的气压可消除微动台的静态位置的误差。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 重力 补偿 装置 | ||
【主权项】：
一种重力补偿装置，用于支撑光刻机中工件台和掩模台的微动台，并与供气气源气路相通，其特征在于，包括第一气室、活塞、支撑板和气动阀，其中所述第一气室支撑所述活塞；所述支撑板，用于支撑所述微动台，位于所述活塞上方，并与所述活塞固定连接；所述气动阀与所述第一气室相连通，调节第一气室气压。
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