[发明专利]探针卡和包括探针卡的测试装置无效
| 申请号： | 201010566729.7 | 申请日： | 2010-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN102081109A | 公开（公告）日： | 2011-06-01 |
| 发明（设计）人： | 堀井秀树;金荣国;朴美林 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067;G01R31/28 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 李佳;穆德骏 |
| 地址： | 韩国京畿道水*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供一种探针卡和包括探针卡的测试装置。该探针卡和包括探针卡的测试装置用于提高测试可靠性。探针卡可以包括连接第一输入端子和第一输入探针引脚的第一输入端子微机电系统(MEMS)开关，其中，第一输入端子MEMS开关包括接收操作信号的控制部分以及连接第一输入端子和第一输入探针引脚的连接部分。探针卡可以进一步包括连接第一输出端子和第一输出探针引脚的第一输出端子MEMS开关，其中，第一输出端子MEMS开关包括接收操作信号的控制部分以及连接第一输出端子和第一输出探针引脚的连接部分。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 包括 测试 装置 | ||
【主权项】：
一种探针卡，包括：第一输入端子微机电系统MEMS开关，所述第一输入端子微机电系统MEMS开关连接第一输入端子和第一输入探针引脚，其中，所述第一输入端子MEMS开关包括用于接收操作信号的控制部分和用于连接所述第一输入端子和所述第一输入探针引脚的连接部分；以及第一输出端子MEMS开关，所述第一输出端子MEMS开关连接第一输出端子和第一输出探针引脚，其中，所述第一输出端子MEMS开关包括用于接收所述操作信号的控制部分和用于连接所述第一输出端子和所述第一输出探针引脚的连接部分。
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