[发明专利]5.25微米波长的中波红外窄带滤光片有效
| 申请号： | 201010565019.2 | 申请日： | 2010-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN101986174A | 公开（公告）日： | 2011-03-16 |
| 发明（设计）人： | 张麟;黄春;倪榕 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海技术物理研究所 |
| 主分类号： | G02B5/28 | 分类号： | G02B5/28 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 郭英 |
| 地址： | 20008*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种5.25微米中波红外窄带滤光片，它以三氧化二铝晶体为基底，硒化锌及碲化铅为膜层材料，采用真空薄膜沉积方法制备。主膜系采用多半波、高级次间隔层膜系结构，配合高截止深度截次峰膜系，具有良好的抑制其他气体干扰效果。该滤光片是红外一氧化氮红外分析仪器的关键部件，适用于批量生产。产品光学性能及膜层的物理强度满足实际使用要求，适合于环保及石化等领域微量一氧化氮气体分析仪器使用。 | ||
| 搜索关键词： | 5.25 微米 波长 中波 红外 窄带 滤光 | ||
【主权项】：
一种中心波长为5.25微米的中波红外窄带滤光片，它由正面膜系(1)、基板(2)和反面膜系(3)组成，其特征在于：所述的基板(2)采用厚度为0.5毫米三氧化二铝晶体，其表面平面度为光圈N＜3，局部光圈ΔN＜0.4，表面光洁度B＝III，上下两表面间不平行度θ＜1’；所述的正面膜系(1)为：Ns|H2L(2LHLHLH2L)22LH(LHL)5|No所述的反面膜系(3)为：Ns|L[0.412(0.5LH0.5L)]6[0.583(0.5LH0.5L)]6HL|No；膜系中：Ns表示基板(2)，No表示空气，L表示厚度为λ0/4硒化锌膜层，H表示厚度为λ0/4碲化铅膜层，中心波长λ0＝5.250微米，H、L前的0.5以及膜堆前的0.412和0.583数字为膜层的厚度系数，膜堆上的指数为膜堆镀膜的周期数。
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