[发明专利]微电子机械系统开关、运动传感器及运动传感方法无效
| 申请号： | 201010561312.1 | 申请日： | 2010-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN102064039A | 公开（公告）日： | 2011-05-18 |
| 发明（设计）人： | 李秉纬 | 申请（专利权）人： | 苏州扩达微电子有限公司 |
| 主分类号： | H01H35/02 | 分类号： | H01H35/02;G01P13/00 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 陶海锋 |
| 地址： | 215021 江苏省苏州市苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微电子机械系统开关，包括基片、锚和悬梁，所述锚固定在基片上，所述悬梁的一端为与锚连接的固定端，其特征在于：所述悬梁的另一端为自由端，悬梁的自由端连接有一质量块，在所述质量块四周，至少一侧设有接触壁，质量块与接触壁间具有间隙；所述质量块与悬梁自由端具有向接触壁方向运动的自由度，在质量块与接触壁相互接触时，该微电子机械系统开关导通。本发明还公开了采用上述开关的运动传感器及运动传感方法。本发明不需要外加电压驱动，可以用于运动传感；具有超低功耗的特点，特别适合用于唤醒工作模块。 | ||
| 搜索关键词： | 微电子 机械 系统 开关 运动 传感器 传感 方法 | ||
【主权项】：
一种微电子机械系统开关，包括基片、锚(10)和悬梁(11)，所述锚(10)固定在基片上，所述悬梁(11)的一端为与锚(10)连接的固定端，其特征在于：所述悬梁(11)的另一端为自由端，悬梁(11)的自由端连接有一质量块(12)，在所述质量块(12)四周，至少一侧设有接触壁(13)，质量块(12)与接触壁(13)间具有间隙(15)；所述质量块(12)与悬梁自由端具有向接触壁(13)方向运动的自由度，在质量块(12)与接触壁(13)相互接触时，该微电子机械系统开关导通。
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